当管式炉使用惰性气体时需要注意的问题
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3271 更新时间:2019-11-12 【
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当管式炉使用惰性气体时需要注意的问题
1. 接通工作气体气路,将管式炉气体出口端联接机械泵。
2. 当管式炉真空表到-0.1(指针到止境时),关闭出气阀,关闭进气阀。
3. 翻开管式炉进气阀,合上真空泵电源,翻开出气阀(留心把住法兰,避免炉管受力过大),抽暇刚玉管和气体管路。
4. 管式炉气压表当气压稳守时,关闭管式炉进气阀,翻开出气阀,抽真空到-0.1,关管式炉出气阀。
5. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,缓慢翻开出口减压阀,使出口气压在0.004MPa(2小格)。
6. 逆时针旋动旋钮,缓慢翻开管式炉进气阀;亲近留心管式炉气压表,供认气压在0.08MPa以下(如气压高于0.08MPa,翻开管式炉出气阀放气)。
7. 重复4、5步两次。
8. 关机械泵,翻开管式炉进气阀。