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SL-1200X是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1600mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在双向导柱滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速升降温的需求。同时可选配电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
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  • 产品介绍
  • 性能特点
  • 技术参数
  • 工作原理

    设备名称

    1200°C小型双炉体滑动管式炉(2020.11.3——升利实验室审核)

    主要特点

    · 包含两个炉体。

    · 炉子的底部安装有一对滑轨,可手动使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧,以实现快速加热和快速冷却。

    · 最高温度可达1200℃。

    · 双层壳体结构,并带有风冷系统,可有效降低壳体表面温度。

    · 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

    · 开门断电,提高实验安全性。

    基本参数

    · 最高温度: 1200℃(≤30min)  工作温度: 1000℃

    · 推荐升温速率:≤10℃/min

    · 加热元件:掺钼铁铬铝合金

    · 电压:220V

    · 额定功率:3KW

    炉管及滑轨

    · 高纯石英管50mm外径x 1500mm长

    · 镀铬钢制成的双滑轨

    · 滑轨长度:1600毫米

    真空法兰

    · 配有一套304不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封。

    · 不锈钢真空法兰安装在炉管的两端,便于组装。

    · 左端法兰采用1/4英寸的卡套接头,用于通入反应气体。

    · 一个机械压力表安装在左端法兰上,用于监控管道压力。

    · 法兰端提供多种接头可选,具体请咨询技术人员

    温控系统

    · 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序

    · 温控仪表中带有过热和断偶保护

    · 仪表控温精度: +/- 1°C

    · 热电偶型号:K型

    质保

    · 一年保修,终身技术支持。
    · 特别提示:

         1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

         2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


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