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本款设备是一套小型高温感应加热/熔炼系统,配用20KW的感应电源,Φ150mm O.D x 142mm I.D的石英管、密封法兰 石墨坩埚 、氧化铝保温毯 16L/m的循环水冷机和移动架等。针对于生长晶体,金属容炼和各种材料的热处理,是绝佳的实验帮手。仪器最高温度可以达到1700℃(使用时石英管内需通入保护性气体)。
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  • 产品介绍
  • 性能特点
  • 技术参数
  • 工作原理

    设备名称

    真空感应熔炼炉(2020.12.3——升利实验室审核)

    感应加热电源

    • 工作电压:三相,380V AC 50/60HZ

    最大输入功率:20KW

    空气开关:需60A的空气开关

    保护:自动水压,超温和超功率保护

    输出频率:30-80KHZ

    循环比:80%

    温度控制器&热电偶

    工作电压;208~240V AC,单相

    采用PID方式控温,可设置30段升降温程序

    设置有超温&断偶保护

    控温精度:+/- 5 ºC

    采用C型热偶(进口Ω热电偶),探头伸入到石墨坩埚内

    连续工作温度: 1000ºC~1700ºC

    最大升温速率:

    10ºC/second (1000ºC-1200ºC)
    8ºC/second (1200ºC~1500ºC)
    3ºC~6ºC/second (1500ºC~1700ºC)

    1700℃(恒温时间<10min)

    1600℃(恒温<1小时)

    真空法兰、石英管和防护罩

    • 不锈钢法兰上带有高温硅胶O型圈,在法兰上安装两个阀门和真空计

    • 一端封闭的石英管:150mm(OD)*142mm(ID)*300mm(L)

    • 在法兰上连接KF25接头和KF25的波纹管用于连接真空泵

     

    循环水冷机

    • 温度范围:5~30°C

    • 水流量:16L/min

    • 水箱:不锈钢材质,容积为12L

    • 注意:建议使用特定的冷却液以获得最佳性能。在几次加热试验后,等待几分钟冷却属于正常现象。

    真空泵

    • 标配一个VRD-8的双极旋片机械泵

    • 电压:AC 208-240 50hz,单相

    • 最大功率:800W

     

    产品尺寸

    • 感应加热炉:530mm*220mm*430mm

    • 水冷机:590mm*380mm*760mm

    • 移动钢框炉架:700mm(L)*1000mm(W)*700mm(H)

    (用于放置感应加热器和石英管)

    净重

    • 60kg

    质保期

    •一年保修,终身技术支持。


    特别提示:

    1.耗材部分如炉管,耐火材料,密封圈,石墨坩埚和感应圈等不包含在内。

    2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

    注意事项

    · 为了保护石墨坩埚和C热电偶,在整个实验过程必须在流动惰性气氛环境中进行。气体流量应限制在< 200SCCM

     

    · C型热电偶是耗材,不在我们的保修范围内

     

    · 在连续的气体流动状态下,所有的气路压力都在0.02MPa以下。石英管内气压超过0.02MPa后,可能对炉膛造成不可逆转的破坏

     

    · 当出气口关闭,炉腔内存在正压状态时,不要加热炉子。在加热过程中,必须使用压力表来密切监测加热腔体内情况,一旦燃烧室压力超过0.02MPa,请立即打开放气阀,以防止不可预见的损坏

     

    · 熔化时间和温度与材料、坩埚、耐火绝缘等有关。如果不知道感应加热器是否能熔化您的样品,请联系我们的工程师咨询

     

    · 石英管内部气压必须<0.02MPa(相对气压)

     

    · 所用气瓶上必须安装减压阀(可在本公司购买)

    应用

    此设备可改为RTP(快速热处理炉)和混合物理化学气相沉积(HPCVD)系统,请点击下面的图片查看,如您有任何特殊需求可联系我们


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